国产半导体设备加速突破 传感器行业获关键装备支撑

国内半导体设备厂商晶盛机电、凯世通、苏科斯、江苏博涛近期接连交付关键设备。晶盛机电12英寸硅外延设备进入硅片制造等多领域；凯世通向传感器新客户交付离子注入机，产品已实现规模量产；苏科斯TGV电镀设备助力先进封装；江苏博涛CVD设备拓展至MEMS和先进封装。这些进展标志着国产半导体设备技术突破，加速替代进程，提升产业链自主可控能力。